高硬度ZrN/Al<sub>2</sub>(O<sub>1-x</sub>N<sub>x</sub>)<sub>3&

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专利(申请)号: CN200510111216.6
专利类型: 发明专利
所属行业: B32:叠层产品
法律状态: 有效
申请日: 2005-12-08
公开号: CN1807089
公开日: 2006-07-26
权利人: 上海交通大学
交易方式: 待定 
参考价值: ----
该专利已入库未进入交易状态
发布方资料信息
 
 
一种陶瓷材料技术领域的高硬度ZrN/Al2(O1-xNx)3纳米多层涂层。本发明由Al2(O1-xNx)3层和ZrN层交替沉积在金属、硬质合金或陶瓷的基体上组成,Al2(O1-xNx)3层的厚度为0.3~1.1nm,ZrN层的厚度为2~10nm,纳米多层涂层的总厚度为2~5μm。本发明的ZrN/Al2(O1-xNx)3纳米多层涂层可以采用在氩、氮混合气氛中的双靶反应溅射技术在抛光的金属、硬质合金或陶瓷基体表面交替沉积ZrN层和Al2(O1-xNx)3层得到。本发明所得的ZrN/Al2(O1-xNx)3纳米多层涂层不但具有优良的高温抗氧化性,而且具有高于30GPa的硬度和超过1000℃的抗氧化温度。本发明作为高速切削刀具及其它在高温条件下服役耐磨工件的涂层。

 
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