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测振系统

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专利(申请)号: CN201310745151.5
专利类型: 发明专利
所属行业: G01:测量;测试
法律状态: 有效
申请日: 2013-12-30
公开号: CN103674220A
公开日: 2014-03-26
权利人: 上海理工大学
交易方式: 待定 
参考价值: ----
该专利已入库未进入交易状态
发布方资料信息
 
 
本发明提供一种测振系统,用于测量工作台的振动,具有:光源发射部、光学分束部、图像采集部和图像处理部,光学分束部采用分束镜,反射部包括均与工作台连接的第一反射单元和第二反射单元,第一反射单元包括第一反射镜和第二反射镜,第一反射镜将第一反射光束垂直反射至下方的第二反射镜,第二反射镜将第一反射光束再反射回第一反射镜,第二反射单元包括第三反射镜和第四反射镜,第三反射镜将第一透射光束垂直反射至下方的第四反射镜,第四反射镜将接第一透射光束再反射回第三反射镜,第二反射镜的反射面与第四反射镜的反射面间的夹角不超过10°。此结构能实现测量工作台水平与垂直方向上的混合微小振动,对高精度作业工作台的防振有重大意义。

 
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